Specifikacija predmeta
Oznaka predmeta: EM512ABroj ESPB: 5
Broj časova aktivne nastave nedeljno: 2+2
Način polaganja ispita
Materijal za laboratorijske/računarske vežbe:
Predmetni projekat, Test, Usmeni deo ispita
Dodatne informacije
Основни кораци при фабрикацији компоненти у МЕМС технологуји. Врсте МЕМС технологија и њихове примене. Дизајн индуктивних сензора. Капацитивни сензори. Микросензори притиска, помераја, позиције. Примена имплантираних микросензора у медицини (очни импланти, импланти за снимање активности мождане коре). Примери реализованих сензора у МЕМС технологји. Предности и недостаци у односу на друге технологије. Део наставе на предмету се одвија кроз самостални студијски истраживачки рад у области примене микросензора и технологије за њихову фабрикацију. Студијски истраживачки рад обухвата активно праћење примарних научних извора, организацију и извођење експеримената и статистичку обраду података, нумеричке симулације, писање рада из уже научно наставне области којој припада тема докторске дисертације.